● 最為活躍的193nm浸入式光刻技術(shù)簡介

   直至2002年底浸入式技術(shù)迅速成為光刻技術(shù)中的新寵，而此前業(yè)界并沒有認(rèn)為浸入式技術(shù)有如此大的功效。因?yàn)榇朔N技術(shù)的原理清晰及配合現(xiàn)有的光刻技術(shù)變動不大，獲得了人們的極大贊賞。

傳統(tǒng)干式光刻技術(shù)

   在傳統(tǒng)的光刻技術(shù)中，其鏡頭與光刻膠之間的介質(zhì)是空氣，而所謂浸入式技術(shù)是將空氣介質(zhì)換成液體。實(shí)際上，浸入式技術(shù)利用光通過液體介質(zhì)后光源波長縮短來提高分辨率，其縮短的倍率即為液體介質(zhì)的折射率。例如，在193nm光刻機(jī)中，在光源與硅片（光刻膠）之間加入水作為介質(zhì)，而水的折射率約為1.4，則波長可縮短為193/1.4=132nm。

浸入式光刻技術(shù)原理

   如果放的液體不是水，或者是其它液體，但折射率比1.4高時，那實(shí)際分辨率可以非常方便地再次提高，這也是浸入式光刻技術(shù)能很快普及的原因。

   浸入式技術(shù)目前采用的是兩次去離子的蒸餾水，碰到主要的問題如下：

   在浸入式光刻機(jī)系統(tǒng)中，由于多種原因都可能產(chǎn)生氣泡，如減壓、氣泡表面的空氣滲透、硅片表面的空氣吸入或者與光刻膠表面的作用等。曾經(jīng)作了氣泡從形成到破裂的壽命試驗(yàn)，實(shí)驗(yàn)發(fā)現(xiàn)（包括理論的估計）微細(xì)氣泡的壽命正比于它的直徑，許多微細(xì)氣泡在破裂之前實(shí)際己經(jīng)分解。

   193nm浸入式光刻技術(shù)是所有活躍的光刻技術(shù)中最為長壽最富有競爭力的，從這項(xiàng)技術(shù)一經(jīng)提出，就獲得了全球半導(dǎo)體廠商的一致認(rèn)可。因?yàn)樗臉?gòu)成方法可行并且投入小，除了節(jié)省設(shè)備制造商以及制程采用者大量研發(fā)及導(dǎo)入成本之外，它還擊敗開發(fā)過程問題重重的157nm光源的干式光刻技術(shù)。