真空脫氣

對(duì)于真空鍍膜而言，脫氣工藝在提高產(chǎn)品品質(zhì)上非常重要。

在樹(shù)脂薄膜基材上的鍍膜 ≠ 在玻璃基材上的鍍膜

● 在真空環(huán)境下，加入了等離子等熱因素后，會(huì)從樹(shù)脂薄膜里溢出擾亂氣體。

● 樹(shù)脂薄膜以及其表面的涂布層僅靠干燥工藝是無(wú)法徹底干燥徹底的。

    - 干燥工藝：有大氣壓影響。氣體無(wú)法充分釋出。

    - 鍍膜工藝：無(wú)大氣壓影響。氣體可充分釋出。

為高品質(zhì)提供保障的脫氣工藝

● 脫氣工藝要點(diǎn)

 - 真空環(huán)境

 - 烘烤加熱

 - 動(dòng)態(tài)搬送

舉例：ITO的品質(zhì)改善

要制造高品質(zhì)的ITO薄膜，必須對(duì)氧氣進(jìn)行高精度的控制。

同時(shí)，從基材釋出的氣體，會(huì)成為外部因素?cái)_亂氧氣控制。

通過(guò)鍍膜前的真空脫氣，可實(shí)現(xiàn)高品質(zhì)，高良品率。　

真空脫氣裝置

● 加熱方式

- 非接觸式輻射加熱

- 接觸加熱（鍍膜筒加熱）

● 加熱器加熱長(zhǎng)度

- 脫氣量的測(cè)量

- 溫度 ?加熱時(shí)間的見(jiàn)解

→　我司推薦的加熱器加熱長(zhǎng)度

● 真空排氣

- 使用我司值得信賴的，業(yè)績(jī)充分的排氣方式。

- 所謂大量的釋出氣體（水蒸氣?聚合物）的處置方式。

● 動(dòng)態(tài)搬送

- 在日本代表性的ITO鍍膜企業(yè)具有寬幅1.6m的真空脫氣設(shè)備業(yè)績(jī)。

- 該公司對(duì)其給予了品質(zhì)改善的信任，視為絕對(duì)必須的生產(chǎn)工藝。

真空脫氣設(shè)備 : W30D 系列

磁控濺射 : W60S 系列

真空脫氣系統(tǒng)的基本技術(shù)參數(shù)

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