隨著科技的快速發展，各行業公司發明了各式各樣的電子電器產品，在產品快速更替的浪潮中，各種產品正在迅速的往體積小型化，功能全面化發展，在科技高速發展的步伐中，同時對半導體器件的小型化，品種多樣化，功能全面化的前所未有的挑戰，近年來國內半導體制造產能不斷擴張，半導體設備廠商加速成長。我們認為下游發展將拉動上游本地化配套需求，半導體設備零部件迎來高增長階段。

半導體設備零部件包含密封圈、EFEM、射頻電源、靜電吸盤、硅電極、真空泵、氣體流量計、噴淋頭等產品，可分為機械類、電氣類、機電一體類、光學類等類別

半導體設備零部件存在一定技術壁壘，要求相關企業具備精密加工、表面處理等能力，認證過程也較為復雜。尤其是在機械手、真空規、部分光學類零部件等領域，國內企業和海外頭部企業仍然存在顯著的技術差距。國內企業在鈑金件、金屬件、腔體等機械類零部件領域已經完成了一定程度的國產化，相較于一般的機械設備零部件，半導體設備零部件通常有著精度高、批量小、多品種、尺寸特殊、工藝復雜、要求較高等特點，需要兼顧強度、應變、抗腐蝕、電子特性、電磁特性、材料純度等復合功能要求，對廠商有著技術方面的挑戰。

例如中微公司生產一臺刻蝕機涉及的過程包括但不限于：

1）需要采購EFEM、機械手等零部件進行晶圓的傳遞，EFEM、機械手通常是以集成度較高的模組形式采購自Rorze等公司，而后由中微公司將其組裝為傳輸系統；

2）需要采購反應腔體、噴淋頭、邊緣環、射頻發生器、螺絲、螺帽等零部件完成反應系統的組裝，這些零部件通常是以集成度較低的零件的形式采購自靖江先鋒、MKS等公司；

3）需要采購氣體輸送相關的零部件，這些零部件通常是以系統的形式來自Ultra Clean Technology、Compart Systems等公司。

通過以上的例子，我們可以看出半導體設備公司采購的零部件種類繁多，既會采購一些集成度較高的模組、系統，其后續只要完成簡單的安裝過程即可；也會采購一些集成度較低的零件，由自己組裝為更加復雜的模組乃至系統。這些零部件既包括螺絲、螺帽、芯片、線路、工業電腦等標準品，也包括腔體、鈑金件等定制品。理論上，Texas Instruments等公司出品的模擬芯片有可能被用于半導體設備生產，屬于半導體設備零部件范疇。但本篇報告為方便討論，主要聚焦于這樣幾類公司：1）生產的零部件是定制品或偏向于定制品，應用于半導體設備中，比如華亞智能（主要生產鈑金件）、新萊應材（主要生產腔體、閥）；2）生產的零部件是標準品或偏向于標準品，既可以應用于其他機械設備，也可以應用于半導體設備，但由于應用于半導體設備對產品要求較高，全球只有少數幾家企業能夠生產符合要求的產品，比如VAT（主要生產真空閥）、Zeiss（主要生產鏡頭組）。

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